最初超纯水是采用蒸馏法以及离子交换方式制取得来的，通常采用这两种方式制取的超纯水水质并不稳定，而随着信息化时代的不断进步，电子产品性能不断提高，生产过程对所需水质的需求非常高，为了协助各电子企业生产高品质的产品，水处理工艺也在不断的改进。
为了能够满足现代化生产产业用水需求，反渗透加EDI技术成为了热门水处理技术，它以稳定的出水水质，简单的操作方法，轻松的维护保养过程深受广大用户的喜爱。超纯水中除了水分子(H20)外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二恶英等有机物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素，超纯水无硬度，口感较甜，又常称为软水，超纯水,是一般工艺很难达到的程度，如水的电阻率大于18MΩ*cm，接近于18.3MΩ*cm则称为超纯水。
电子超纯水制备典型工艺流程
原水→沙炭过滤器(保送介质的管道中清除介质中杂质的一种过滤装置)→慎密过滤器(或称保安过滤器)(保送介质的管道中清除介质中杂质的一种过滤装置)→原水箱→反渗透(借助于半透过膜的膜分别技巧)(经由过程反渗透膜(利用反渗透事理停止分此外液体分别膜)法来制取纯水的装置)→混床(混杂离子交换柱(承装混床树脂(普通也称离子交换树脂(用化学法将高分子共聚物制成的无机单体颗粒的离子交换剂))的容器)的简称)(复床)→纯水箱→纯水泵(把原念头的机械能变为水能量从而达到抽送水的机械)(吸进和排出流体的机械)→后置慎密过滤器(或称保安过滤器)(保送介质的管道中清除介质中杂质的一种过滤装置)→用水滴
上述工艺为电子行业超纯水设备中常用的典型工艺流程，它还可根据原水水质，所需水质等进行增减设备，以达到最佳出水效果。
