集成电路是一种微型电子器件，采用一定的工艺，把一个电路中所需的晶体管、电阻、电容和电感等元件及布线互连在一起。集成电路清洗用纯水设备是集成电路生产不可缺少的水处理设备，集成电路清洗用纯水设备的出水安全稳定是集成电路安全生产的前提保证，下面小编为大家详细介绍一下集成电路清洗用纯水设备的灭菌方法：
①采用巴斯消毒，用臭氧或纯蒸汽流通熏蒸灭菌，这种方法执行比较简单。
②采用紫外线杀菌消毒。
③使用杀菌剂，例如臭氧，这种方法见效很快。
④拆分，用饮用水冲洗，接着至于八四消毒液120分钟，事先按照消毒液的说明书将消毒液进行稀释，浸泡之后再用饮用水冲洗干净，然后浸泡在饮用水中60分钟，最后冲洗干净，重新组装即可使用。
通过以上这四种方式，可以对集成电路清洗用纯水设备进行杀菌和消毒。
