超纯水设备在电子行业的应用案例

原标题：超纯水设备在电子行业的应用案例

现代工业技术的不断发展，对水质提出日益严格要求，超纯水设备的应用也越来越广泛。由于企业采用的水源水质、产水要求、产水量以及自控要求的不同，在实践中根据客户URS设计的水系统解决方案才是最为经济高效的，同时这也是系统长期稳定达到设计要求的保证。下面，小编将围绕某电子行业企业定制一套超纯水设备为例进行详细介绍，供参考和分享。

图一　创洋超纯水系统

该企业的原水采用市政自来水，产水量为30t/h，产水要求符合电子级水标准。根据企业URS分析，提出了预处理+双级RO+EDI工艺。预处理采用多介质过滤器+软化器+活性炭过滤器，为了防止杂质造成RO膜出现污堵或被损坏，在RO装置前设置保安过滤器用来去除大于5μm的微粒。采用双级RO去除盐分和离子，一级RO回收率为70-75%，浓水可用于洗地板、冲厕所等，二级RO回收率80-90%，浓水回至原水罐再利用，节约用水。采用EDI进行深度除盐，回收率为90-95%，浓水回至原水罐再利用，节约用水，使其产水符合最终使用要求。当企业不能将最终出水完全使用时，剩余的产水会回流到超纯水储罐，保证整个处理系统处于一个流动的状态，确保产水电阻率始终达到15MΩ.cm以上。

由于紫外线对所有菌种均有效，杀菌速度快、效果佳，不需要向水中投加药剂，也不需要改变水的化学成分，既节约资源又环保，因此，该套系统采用紫外线杀菌方式。

从系统设计来看，该套纯化水系统采用一键式启动，配备就地控制柜及智能显示屏，无论是操作还是维护均非常方便。整机呈一体化设计，模块化组装，占用面积小，美观大方。各个单元衔接紧密，运行稳定，兼顾安全、节能等多方面的考虑，充分保证出水符合企业用途。