早期超纯水的用处主要是在发电行业，这个行业用水要求相对较低，早起采用离子交换法，这个方法需要一定化学药剂，十分麻烦。出水TOC值含量高，所以膜技术得到了推广，满足了用水要求高的行业领域。
1.膜法高纯水的检测工艺流程：
原水—超滤—反渗透—EDI—超纯水
在膜法工艺中，超滤，微滤替代澄清，石英砂过滤器，活性炭过滤器，除去水中的悬浮物胶体和有机物，降低浊度，SDI，COD等，可以实现反渗透装置对污水回用的安全，高效运行，以反渗透替代离子交换器脱盐，进一步除去有机物，胶体，细菌等杂志，可以保证反渗透出水满足EDI进水的要求，以EDI代替混床深度脱盐，利用电而不是酸碱对树脂再生，避免了二次污染。
3.深圳EDI超纯水原水水质概论
水中的杂质按存在的形态的不同可以分为悬浮物，胶体和溶解性固体三种，其中固体含量用总固体量作为指标，把一定量水样在105-110°烘箱中烘干到恒重，所得的重量及为总固含量。
第一类是悬浮物物指悬浮于水中的物质，颗粒直径在10-4mm以上，如泥沙，粘土，动植物残骸，微生物，有机物，藻类等。
第二类是胶体，指水中带电荷的胶体为例，颗粒直径在10-5mm之间，胶体颗粒是许多分子或离子集合体，这种细小颗粒具有较大的比表面积，从而使他具有特殊的吸附能力，而被吸附的物质往往是水中的离子，因此胶体颗粒带有一定的电荷，如硅铁铝化合物及一些高分子有机物如腐殖质等，也有一些在此粒径范围的细菌，病毒等。
第三类是溶解物，只被水所溶解的，分子或离子状态的溶质或气体如氯化物，硫酸盐等。
悬浮物和胶体是使天然水产生浑浊的主要原因。
反渗透edi主要是对水中难以溶解的盐从层析层中吸附出来，可在吸附前添加一定的吸附剂，吸附剂通常使用活性炭。
