超纯水出现是由于早起发电、医药、化工以及造纸行业用水需求，当时对于超纯水水质要求还相对较低，但随着科技迅猛发展，电子工业、食品工业、轻工业、航空航天业也逐渐开始需要超纯水帮忙，并且需求量日趋增大，与此同时对超纯水水质有人提出高要求，特别是大规模集成电路设计工艺对超纯水水质提出更严苛的要求。
从二十世纪初期到目前，超纯水制备工艺发生了翻天覆地的变化，变化图如下：
最初，工业用超纯水制备用的方法是蒸馏法，蒸馏法制备的超纯水水质不好，并且工艺消耗物数量较大，不久便被随之出现的离子交换技术替代，虽然后者出水质量有所提升，但是该技术需要化学药剂再生过程，这样会造成环境污染，也逐渐被人们摒弃。
进入五六十年代后，半导体电子工业发展迅速，有力推动了edi超纯水设备发展，在这同时，膜技术出现使水处理技术再次进入一个新的台阶，混床技术从根本上解决了TOC含量大问题，这时edi超纯水设备产水质量已经可以满足电子行业用水要求，最后出现的edi水处理技术不仅从实质上解决了环境污染问题，还在这些基础上得到了更高的出水质量，水处理行业发展近20年，edi水处理技术取得了飞速发展，不仅在半导体电子工业得到认可，在其他领域也成为了代替膜技术制备超纯水的主要方法。
近些年，人们对节约资源以及环保处理意识提高，特别是对水资源节约保护的意识提高，人们不仅要求用水水质能满足饮用需求，还要求水质满足更多工业领域用水要求，在这同时，超纯水工艺中出现的一些不必要的浪费以及污染等需要研究和改进，这些因素都推动着超纯水技术不断前进。
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