新型超纯水处理设备绝大多数采取的是EDI技术，EDI技术随着工业制造领域对用水水质的条件不断提升，以及国际法对化学污染物排放的要求日益严格发展起来的。早在上世纪五十年代，原始EDI超纯水设备已经被发明生产，并且还申请了技术，但是在此后的多年之间，设备的应用进展非常缓慢。
直到上世纪八十年代末期出现了第一个电去离子设备，超纯水处理设备才实现了产业化生产，随着技术的发展，超纯水设备应用技术不断发展壮大。尤其是最近十年以来，EDI超纯水技术出现了长远的发展，投入生产的EDI超纯水设备不但在资金投入以及环境保护上要好于混床设备，并且在出水质量上面也比混床设备要好很多。
超纯水设备
中国在二十世纪七十年代对EDI技术也研究过一段时间，虽然取得了一些最终的成果，但是因为各种因素，该种先进的技术在中国的研究发展停滞了十年之久，一直到二十世纪九十年代之后，中国国内才再次出现了EDI超纯水技术的研究，但是超纯水处理设备出水的质量并不是非常理想。
近五年之内，中国国内的EDI超纯水处理设备应用技术有了质的飞跃。EDI超纯水技术不单单能够保留电渗析技术以及离子置换技术的优点，还从一方面克服了两种技术所存在的不足现象，并且还大大的避免了离子置换技术再生造成的环境污染问题。
