由于水处理技术的飞速发展，EDI超纯水设备逐渐被制药行业、微电子行业、发电行业和实验室所普遍接受。也正因为如此，在表面清洗、表面涂装、电解行业、化工行业和太阳能光伏行业也随之产生了专用的电子清洗超纯水设备。
1、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→粗混合床→精混合床→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→精密过滤器→用水对象(≥18MΩ.CM)(传统工艺)
2、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥18MΩ.CM)(新工艺)
3、预处理→一级反渗透→加药机(PH调节)→中间水箱→第二级反渗透(正电荷反渗膜)→纯水箱→纯水泵→EDI装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥17MΩ.CM)(新工艺)
4、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥15MΩ.CM)(新工艺)
5、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→纯水泵→粗混合床→精混合床→紫外线杀菌器→精密过滤器→用水对象(≥15MΩ.CM)(传统工艺)
1、离子交换树脂的用量少，约相当于传统离子交换法树脂用量的5%。
2、离子交换树脂不需酸，碱化学再生，节约大量酸、碱和清洗用水，大大降低劳动强度。
3、无废酸、废碱液排放，是清洁的生产技术，属环保产品。
4、过程易实现自动控制，产水水质稳定，与RO等水处理技术相结合，能形成完善的纯水、超纯水生产线。
5、产水水质高，可达到国家电子级水I级标准，电阻率为15～18MΩ·cm，细菌内毒素含量小于0.1mg/L可完全满足《中国药典》《美国药典》对药用水的要求。
6、有优异的除弱解离物质(如二氧化碳、硅、硼、氨等)地能力，更适用于超纯水的需要。
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