集成电路清洗超纯水设备RO膜寿命减短是什么原因？

集成电路清洗超纯水设备主要用在集成电路生产的过程中，RO

一、反渗透设备的操作不当引起膜性能的损坏

反渗透设备中有残余气体在高压下运行，形成气锤会损坏反渗透膜。

常有两种情况发生：

1、设备排空后，重新运行时，气体没有排尽就快速升压运行。应在2

2、在预处理设备与高压泵之间的接头密封不好或漏水时，当预处理供水不很足时，如发生堵塞，在密封不好的地方由于真空会吸进部分空气。应清洗或更换，保证管路不漏。总之，应在流量计中没有气泡的情况下逐步升压运行，运行中发现气泡应逐渐降压检查原因。

二、反渗透设备关机时的方法不正确

1、关机时快速降压没有进行彻底冲洗。由于膜浓水侧的无机盐的浓度高于原水，易结垢而污染膜。

2、用投加化学试剂的预处理水冲洗。因含化学试剂的水在设备停运期间可能引起膜污染。

反渗透设备在准备关机时，应停止投加化学试剂，逐步降压至3bar左右用预处理好的水冲洗10min

三、反渗透设备消毒和保养不力导致微生物的污染

这是复合聚酰胺膜使用中普遍存在的问题，因为聚酰胺膜耐余氯性差，在使用中没有正确投加氯等消毒剂，加上对微生物的预防重视不够，容易导致微生物的污染。

主要表现为：

间断运行不采取消毒和保养措施;没有定期对预处理设备和反渗透设备消毒;

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