在现代工业生产中，都离不开水源，而很多企业对都会用到超纯水，工业超纯水设备制取超纯水时都需要用到源水，源水中总会溶有气体。这些气体可以大致分为：可反应性气体、不反应性气体、消毒副产物。这些气体大多通过自然溶入和人工加入的方法溶于水中，显然，超纯水中是不能含有这些气体的，特别是可反应性气体和消毒副产物。那么如何去除工业超纯水设备中的水源气体？
人们常常采用高温的方式去除溶于水中的各种气体，而工业超纯水设备工作温度远远达不到高温的条体。在工业超纯水设备中有几处具有去除气体的流程。活性炭，活性炭具有超强吸附情，在原水经过活性炭时，除了能吸附微粒子等，还能吸附气体，在工业生产中也常常采用活性炭除臭。活性炭有很多种，好的活性炭是果壳活性炭，含碳量高，肯吸附性强。在工业超纯水设备的活性炭成为了去除气体的一关。除此之外，工业超纯水设备还有更高级的去除气体的环节，不同的厂家采用不同的方式去除。
另外，为了保证工业超纯水设备在去除气体后不会二次污染，工业超纯水设备采用了全封闭设计，工业超纯水设备还在取水口采用能防止气体回流的终端微滤。从而保证了超纯水制取的超纯水中不含有气体杂质。
