半导体生产用超纯水设备在使用过程中一定要按照要求操作，避免对设备造成损坏，切记以下几点：
1、当半导体生产用超纯水设备的高压泵以及增压泵在没有水的时候最好不要使用，以免对设备造成后期的损坏。
2、当半导体生产用超纯水设备进行原水处理时，原水压力不能满足设备的启动需求，切勿对设备的高压泵进行启动。
3、当使用半导体生产用超纯水设备时要确保设备是干燥的。
4、当使用半导体生产用超纯水设备后关机时要先关闭高压泵再关闭原水增压泵。
5、为了避免半导体生产用超纯水设备出现爆管的现象，当设备处于进水，水路还尚未畅通时不要打开超纯水设备的高压泵以及增压泵。
6、在半导体生产用超纯水设备的供电处不仅要保持地面干燥还要避免放置有易燃易爆的危险品。
7、若半导体生产用超纯水设备出现管道漏水，要将设备的电源切断，不可持续让设备保持运行状态。
