超纯水工程的施工有一定难度，主要包括：设备的搬入与安装、共用管架的制作安装以及管道的安装。超纯水设备的搬入一定要按照编制的设备吊装方案严格执行，特别是体积大、超重、易损坏的设备，千万不可随意放置，避免在搬运设备的过程中造成其损坏。
共架的施工必须注意两个环节：
1、共架与土建结构连接处必须十分坚固，可采用预埋铁板的方式。若因种种原因不能预埋，则应用化学铆栓固定在梁上，不应使用一般的简易膨胀螺栓。切不可用铁板和简易膨胀螺栓固定在楼板上。
2、整段管架一定要保持水平，以免管道与共架接触部位由于应力不均匀引起管道弯曲破损。水站的管道施工除CDA、氮气及热交换器用的蒸汽或冷热水管道可以按系统进行施工外，其他站内管道施工可分为两大部分，即共架管道施工和设备周边配管施工。
超纯水工程开工初期这两部分可以同时进行施工，当共架直管段与设备本体配管完成之后，应该从设备周边管道向共架管道进行连接配置，最终与共架管道相连形成封闭的管路系统。超纯水设备管道施工与其他一般动力管道施工有很大区别，超纯水设备管理施工必须要保证管路的密闭性，另外还要保证施工过程红管理的洁净。
超纯水工程在施工过程中一定要按照指定的方案严格执行，确保设备在安装过程中不会出现任何纰漏，确保安装完毕后设备能够安全稳定运行。
