gmp对纯化水有什么要求
发布日期:2020-01-02 浏览次数:3438
电子器件超纯水设备是电子产业自来水,确保电子设备产品质量和电子产业身心健康运作的一种水净化设备。电子器件超纯水设备适用集成电路芯片制造中高纯水清理硅单晶、半导体器件、晶元原材料制造、生产加工,纯净水一号的电子器件机械设备普遍的用作在电子产业中,并且在电子产业中的影响力也是红红火火变成业界发展趋势的实施者。
双蒸水、超纯水系统在电子器件工业生产关键是pcb线路板、电子元件制造中的具有关键的功效,去电离、超纯水系统水体已变成危害pcb线路板、电子元件产品品质、制造产出率及产品成本的关键要素之一,水体规定也愈来愈高。在电子元件制造中,双蒸水、超纯水系统关键作为清理自来水及用于配置各种各样水溶液、料浆,不一样的电子元件制造中纯水的用途及对水体的规定也不一样。
在三极管、集成电路芯片制造中,超纯水系统适用于清理硅单晶,另有小量用作药水配置,硅单晶空气氧化的水蒸气源,一部分机器设备的冷却循环水,配置电镀工艺液等。集成电路芯片加工过程中的80%的工艺流程必须应用高纯水清理硅单晶,水体的优劣与集成电路芯片的产品品质及制造产出率关联挺大。水里的碱土金属(K、Na等)会使绝缘层膜抗压欠佳,重金属超标(Au、Ag、Cu等)会使PN结抗压减少,Ⅲ族原素(B、Al、Ga等)会使N型半导体材料特点恶变,Ⅴ族原素(P、As、Sb等)会使P型半导体材料特点恶变,水里病菌高溫炭化后的磷(约占灰分的20-50%)会使P型硅单晶上的部分地区变成N型硅而造成元器件特性学坏,水里的颗粒物(包含病菌)如吸咐在硅单晶表层,就会造成电源电路短路故障或特点越差。
不难看出,电子产业对自来水饮用水标准规定十分高,殊不知电子器件超纯水设备是电子产业自来水的不可或缺的关键机器设备!
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